產(chǎn)品介紹

STARPOWER-PULSE1/PULSE2脈沖電弧電源，是針對真空鍍膜行業(yè)設計研發(fā)的高品質(zhì)離子鍍脈沖電弧電源。
STARPOWER-PULSE1/PULSE2脈沖弧解決方案將陰極電弧工藝的精度和生產(chǎn)能力提升到一個新高度。高能量的電弧放電、快速的把材料蒸發(fā)和高能離子在提高陰極電弧沉積效率的同時也會造成潛在的不穩(wěn)定。STARPOWER-PULSE2電弧電源輸出電流最高可達400安培，憑借其強大的功率和工藝控制能力，提供出色的等離子電離、離子能量和生產(chǎn)能力。
脈沖功能增加了陰極電弧的受控程度，且得益于峰值大電流，從而不會影響膜沉積速率。憑借高能離子，陰極電弧沉積通?？芍苽渲旅?、耐用、均勻和附著力好的薄膜。盡管如此，微粒子摻雜（液滴）可能會干擾這一工藝。此外，離子可能對基底施加過大壓力，造成膜應力和附著力問題。STARPOWER-PULSE電弧電源可以調(diào)節(jié)影響基底的離子能量，控制關鍵的膜層性能，如注入、密度和附著力。
陰極電弧產(chǎn)生的大量熱能會破壞靶材激發(fā)質(zhì)量。脈沖功能通過在脈沖關斷時的冷卻效果從而使靶材激發(fā)均勻。同時，通過限制陰極電弧運動，可以抑制損害性陰極斑點生長。

產(chǎn)品參數(shù)