蒸發(fā)離化源又名真空等離子體加速器或圓形陰極弧源、電弧源、小弧源。本蒸發(fā)源具有鍍料蒸發(fā)率高、工作可靠、壽命長(zhǎng),能通過使用不同的鍍料產(chǎn)生多種鍍料蒸汽等特點(diǎn)。
磁控濺射鍍膜技術(shù)在輝光放電中進(jìn)行,膜層粒子來源于輝光放電中的氬離子對(duì)陰極靶材產(chǎn)生的陰極濺射作用。濺射下來的膜層原子沉積到工件上形成所需膜層。
蒸發(fā)離化源又名真空等離子體加速器或圓形陰極弧源、電弧源、小弧源。本蒸發(fā)源具有鍍料蒸發(fā)率高、工作可靠、壽命長(zhǎng),能通過使用不同的鍍料產(chǎn)生多種鍍料蒸汽等特點(diǎn)。
磁控濺射鍍膜技術(shù)在輝光放電中進(jìn)行,膜層粒子來源于輝光放電中的氬離子對(duì)陰極靶材產(chǎn)生的陰極濺射作用。濺射下來的膜層原子沉積到工件上形成所需膜層。